相位测量偏折术关键技术研究

来源 :电子科技大学 | 被引量 : 1次 | 上传用户:HC_luopo
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随着电子产业的快速发展,各类不同电子产品的消费量也与日俱增。而在电子产品的生产过程中,产品的质量检测系统至关重要。构成电子产品的各类元件中,光学元件的质量检测一直是一个热点话题。受限于现有方法的检测速度和精度,目前工厂中的光学元件监测主要还是依靠人眼检测法,这种情况既不利于检测效率、检测稳定性,也不利于工人健康,因此亟需改变。本文以结构光检测中的相位测量偏折术为基础,提出了一种调制度辅助的相位测量偏折术,该方法被称为结构光调制度分析技术(Structured-Light Modulation Analysis Technique,SMAT),该技术适用于镜面物体和透明物体的脏污及缺陷检测,具体可通过光线反射系统和光线透射系统来实施。根据该技术,本文的具体的研究内容可概括成以下几个方面:1、在基于定向反射光线的前提下,分析得出了被测物体上存在脏污或缺陷时入射光线的变化情况,由此利用光度学原理首次建立得出了SMAT的光度学调制度模型。此外,针对透明物体的脏污及缺陷检测,提出了一种新的透射式检测系统。在SMAT模型的指导下,利用反射系统和透射系统进行的相关仿真和实验结果表明,基于SMAT的调制度结果可以排除环境光干扰,清楚地反映出脏污及缺陷信息,由此可见SMAT的有效性。2、为了更精准地描述SMAT的检测机理并指导系统优化工作,根据被测物体上存在脏污或缺陷的具体面形,对SMAT进行了数学模型的重新构建。该改进模型可以解释调制度图中的差异化响应这类SMAT在实际使用中遇到的问题,相关的仿真和实验结果也验证了改进模型的有效性。与此同时,为了解决调制度差异化响应导致的信息采集不完全的问题,还提出了一种新的调制度融合算法用以完整地捕获脏污和缺陷信息。3、采用了一种灰度值补偿的算法,对采集到的条纹图进行非线性误差补偿,此时无须为减轻系统的非线性误差而增加相移步数,由此达成了调制度的快速检测。通过与同样步数未补偿的调制度结果、更多步数的未补偿调制度结果的对比,验证得出了该种新型检测方式的有效性。
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