【摘 要】
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该文以BGA芯片引线的3D尺寸在线测试方法为研究对象,围绕国家自然科学基金项目“表面安装集成电路引线三维尺寸在线测试方法的研究”（项目编号：69906001）,对SMIC的在线视觉测量
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该文以BGA芯片引线的3D尺寸在线测试方法为研究对象,围绕国家自然科学基金项目“表面安装集成电路引线三维尺寸在线测试方法的研究”（项目编号：69906001）,对SMIC的在线视觉测量进行了细致的理论研究,给出了测量系统参数的标定方法,进行了实验研究和分析,获得了满意的结果.该文完成的主要工作如下：1.通过分析现有的SMIC的检测方法及其优缺点,针对BGA芯片的结构特点,设计了测量的整体方案;2.建立测试系统的数学模型,确定了测试系统的标定方法,完成了标定软件的编程调试,并进行了摄像机参数和传感器参数的标定实验;3.以步进电机驱动,实现了被测器件的动态非接触式扫描测量.同时,对动态误差进行了实时补偿,证明了其在线测量的可行性;4.编制、调试了测量系统软件,实现了步进电机的控制,完成图像的实时采集,图像处理,测量数据提取及输出等功能;5.在实验室条件下进行了BGA芯片引线的三维尺寸的测量实验,由测量数据即可计算芯片引线共面性、引线间距及高度、球形引线半径等参数.该文所论述的方法不仅仅可以用于BGA共面性的测量,也可以对其它同样存在共面性问题的表面安装芯片进行检测,具有广泛的应用前景.
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