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本文介绍了CCD在非接触测量中的应用，阐明了线阵CCD非接触测量系统的组成及需要解决的问题。 本文建立了基于线阵CCD的线径高精度测量系统，在对照明系统改进的基础上，采用曲线拟合求拐点的方法来提取信号的边缘特征，最后根据透镜的放大倍率β得到低于CCD像素尺寸直径。 论文中分析了仪器的误差，并画出了误差校正曲线，以达到提高了测量精度的目的。最后用另一种衍射的方法对相同的物体进行了测量，比较后得出了两种方法的优劣。 本测量系统的测量范围为0.5～9.5mm，总的不确定度为±7.04μm。