马赫-泽德结构器件（Mach-Zehnder Interferometer，MZI）在光子集成器件中有着广泛的用途，可以制备各种基于马赫-泽德干涉结构的光信号处理器件，如波长转换器件、波分复用器件、光开光器件等，这些集成器件在光通信网络系统中发挥着重要的作用。本论文着重于研究马赫-泽德器件的波导结构，特别是其中的分束耦合器件以及相移器件，主要工作如下：1.研究了马赫-泽德结构的基本工作原理及其在光通信系统中的应用，介绍了目前制造马赫-泽德结构的集成工艺的基本技术方案。2.分析了一般情况下光子集成器件中的波导结构，设计了MMI结构分束/耦合器件以及相位调节器件。分析了波导中的光场传输模式和模场分布，通过对器件结构进行仿真，模拟了不同情况下，器件的制造误差对传输功率的影响，为实际器件的制备提供了指导作用。3.通过微纳制造平台制备了不同尺寸的MMI/Y分支结构器件以及相应的MZI结构波导器件，研究了光刻工艺过程中各个参数对图形宽度的影响，研究了湿法刻蚀和干法刻蚀技术对最终器件波导结构形态的影响。4.使用光学对准平台对制备的波导结构芯片进行测试，通过磨锥透镜光纤将光场耦合到光纤中，测量了光场的输出特性。最终测到了插入损耗为26dB的MMI分束器结构，分束器件输出端的输出光功率差异为1dB，分光比约为45：55。