微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical System MEMS)的开发与研究如今已经成为一门前沿学科,它随着集成电路微精加工技术和高精度机加工技术的进步而得到了不断进步。阳极键合(Anodic Bonding)做为一种低温,破坏性小,连接可靠性强的连接技术,在不同材料连接特别是玻璃(陶瓷)与金属的连接中已经得到了广泛的应用,但由于玻璃或陶瓷质脆抗冲击性能弱等缺点使得它的应用受到了限制。离子导电聚合物PEO-LiX因其不仅具有玻璃(陶瓷)的抗腐蚀性,质密等特点而且具有质轻,塑韧性好等玻璃(陶瓷)不具备的优点使得将离子导电聚合物PEO-LiX应用在阳极键合中具有实用意义。本文应用球磨工艺来制备离子导电聚合物PEO-LiX,经过多组实验对比得出了球磨的最佳工艺参数:公转转速200r/min,球磨时间8h,球料比10:1,应用此球磨工艺参数制备出多组不同组成与配比的离子导电聚合物PEO-LiX粉料试样,将这些试样在压力机中压成统一尺寸的圆片后进行阳极键合实验记录下键合时的电流时间特性曲线,并对键合后试样的结合性能展开研究。研究手段包括X射线衍射(XRD)图谱分析、扫描电子显微镜(SEM)观察、超景深显微观察、色散谱(EDS)分析。分析得出:PEO:LiClO4=10:1,预热100℃,键合电压800V时所得到的键合试件的键合情况最好,只有少部分铝箔能够从离子导电聚合物PEO-Li ClO4上剥离开,碳元素和氧元素从离子导电聚合物一侧向铝箔一侧发生了迁移,且键合界面处有氧元素和碳元素的聚集。