下装工装洁净保持箱对接平台及控制研究

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某大型激光装置在进行试验时需要在激光束组光路中以从底部向上的方式装校大量的光学模块,且装校条件对于空间洁净度要求非常高(ISO5级)。为此,需要有特定的工装设备用于实现光学模块的装校。该设备设计有洁净保持箱用于转运存储光学模块,在转运到位后,需要先对洁净保持箱进行调整提升,使其与大型激光装置洁净厢底盖门对接贴合并形成挤压,再开启底盖门与洁净保持箱顶门,形成洁净密闭空间,之后才能进行光学模块的装校。本文主要研究下装设备的洁净保持箱提升对接部分,讨论了对接平台的机构及运动学关系,研究了其控制方案。基于需求及功能分析,设计了大型激光装置下装工装洁净保持箱的对接平台结构方案,由平面三自由度调整机构及四点支撑调平提升机构混联,实现空间六自由度的调整,并对其机构进行了运动学分析。依照系统设计原则、技术要求及指标,同时考虑到工程实际情况,确立了对接平台的传感检测方案以及工业伺服系统,并对箱体提升对接控制系统关键元器件进行了选型和布局分析,得到了对接平台的整体电控方案。根据对接平台实际调整中可能导致视觉测量失效问题,将空间六自由度的位姿联动调整分为了水平调整、平面调节以及提升对接三个流程。首先进行四点调平,为后续视觉测量调整保证水平度要求,采用了向最高点“看齐”的策略并给出了各支撑腿的位置调节量;再以箱体顶部视觉测量反馈调整平面三自由度,保障后续提升的平面误差要求。最后进行提升对接,考虑到对接完成需要对接面形成一定的挤压力,为实现平稳对接,采用了基于力的阻抗控制策略。针对此前提出的运动控制流程及策略,建立了Matlab/Simulink仿真模型,仿真结果表明了采用的控制策略的正确性及合理性,本文提出的系统方案能够满足下装工装洁净保持箱提升对接的任务要求,可以考虑在后续工程实施中应用。
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