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近年来,ZnO基稀磁半导体已成为当今材料研究领域中的热点,ZnMnO材料就是其中较为典型的一种。本文采用理论分析与物理实验相结合的研究方法,利用直流磁控溅射法在玻璃衬底上生长出ZnMnO薄膜。研究了ZnMnO的结构和光学性质,探讨了制备工艺及ZnMnO薄膜结构和光学性能的影响。对比研究了ZnMnO薄膜和ZnO薄膜的微观结构和表面形貌。X射线衍射谱显示薄膜只有一个衍射峰,表明ZnMnO薄膜具有很高的择优取向,具有与ZnO薄膜类似的六角纤锌矿结构,由于Mn~(2+)代替Zn~(2+)造成ZnM