【摘 要】
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近年随着中美贸易战愈演愈烈,美国对出口我国的部分高端电子元器件采取禁售和禁运等政策,国内的许多科研院所及企业也上了美国的黑名单被制裁,因此国内对高端先进传感器自主可控的需求越来越强烈。所以本文主要以实现大过载耐恶劣环境一体式温压复合传感器的国产化为目标,对传感器敏感元件、调理电路和产品环境适应性进行研究。首先,本论文针对一体式温压复合传感器压力大过载的需求,建立了“C型”结构模型,此平膜结构无中心
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近年随着中美贸易战愈演愈烈,美国对出口我国的部分高端电子元器件采取禁售和禁运等政策,国内的许多科研院所及企业也上了美国的黑名单被制裁,因此国内对高端先进传感器自主可控的需求越来越强烈。所以本文主要以实现大过载耐恶劣环境一体式温压复合传感器的国产化为目标,对传感器敏感元件、调理电路和产品环境适应性进行研究。首先,本论文针对一体式温压复合传感器压力大过载的需求,建立了“C型”结构模型,此平膜结构无中心岛质量块,对加速度不敏感,从而提高传感器的抗振动、冲击的能力。采用ANSYS仿真软件对SOI（Silicon-On-Insulator）硅片的新图形进行仿真,通过多组参数进行比对分析,确定本论文的最终设计参数,以保证工程应用。其次,针对一体式温压复合传感器的耐恶劣环境的需求,对传感器内部进行尺寸链校验和结构强度校验,采用ANSYS仿真软件对传感器结构进行了热、力学环境仿真,确认设计参数合理及结构强度的可靠性。保证了传感器新环境的适应性。最后,提出了一体式温压复合传感器的全国产电路设计方案,采用全国产化自主可控的电子元器件,新设计电路参数,采用Multisim软件进行仿真,实现传感器性能指标。制作4只全国产化传感器,通过了全部的性能和环境试验,验证了设计和仿真的准确性。
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