近来，薄膜体声波谐振器（Film Bulk Acoustic Resonator，FBAR）作为一种体积小、谐振频率高、性能优异的频率器件受到了广泛的关注。基于FBAR的传感器具有速度快、非标记、易集成和灵敏度高等优点，在生化检测、临床医学检验、环境监测、食品安全检验等领域具有广阔的应用前景，是当前基于 MEMS（Micro-electromechanical Systems）技术传感器研究的热点。　　本文主要在ZnO压电薄膜的制备和刻蚀，FBAR的理论模型模拟和性能测试，FBAR生物传感器的制备及测试等方面展开工作。主要研究内容包括：　　1.采用磁控溅射的方法制备了高质量（002）织构的ZnO薄膜，系统地研究了不同溅射参数对薄膜织构和性能的影响，分析了ZnO薄膜的生长机理，获得了高质量的ZnO压电薄膜。　　2.研究了不同刻蚀液在不同浓度、不同温度条件下对ZnO薄膜的刻蚀速率、表面形貌、光学特性和图形控制等特征的影响，通过比较发现，0.01mol/l的FeCl3·6H2O溶液在室温下对ZnO薄膜的刻蚀效果最佳。　　3.解释了FBAR的工作原理，推导了FBAR的电学阻抗和性能参数，建立了FBAR的等效机电模型，并运用ADS（Advanced Design System）软件进行了仿真模拟。利用微纳加工工艺制备了固体装配型FBAR器件，并对器件的性能进行了测试。　　4.分析了压电生物传感器的原理，研究了生物抗体的固定方法，制备了FBAR生物传感器，并对传感器的性能进行了测试。