能源危机与环境污染是人类正面临的重大挑战，开发新能源和可再生清洁能源是21世纪最具决定影响的技术领域之一。太阳能是一种取之不尽、用之不竭的可再生清洁能源，对太阳能电池的研究与开发也变的日益重要。 非晶硅薄膜太阳电池与晶硅太阳电池相比有如下优点，制作工艺简单；衬底温度低，耗材少，能沉积在廉价的衬底上，故成本低，能容易的应用集成工艺，进一步降低成本。因此，非晶硅薄膜太阳电池是一种很有发展前途的太阳电池。得到了广泛的研究。 本文主要利用分离室PECVD系统在玻璃衬底上沉积pin结构太阳电池，主要工作可总结如下：1)p层微晶结构的沉积；用μc-Si:H与传统所用的a-SiC:H分别做电池的p层，比较了二者的I-V特性，发现μc-Si:H作为电池的p层有更大的优越性。2)i层材料的沉积及i层的厚度对电池性能参数J_sc,V_oc,FF,η的影响。3)非晶硅太阳电池一致性及稳定性的研究。主要讨论了i层厚度及p层微晶对电池一致性的影响和i层厚度对稳定性的影响。4)玻璃衬底上倒向结构nip电池的沉积。