【摘 要】
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纳米压痕力学测量技术具有操作灵活简单、测量分辨力高、对样品无损或微损等优点，广泛用于金属、微机电系统、复合材料、生物材料、薄膜涂层等材料力学性能的测试。商用的纳米压痕仪的位移和载荷传感器都存在测量误差，压头面积函数和理论模型也会有所偏差，这些误差都会导致测量准确度的下降，因此需要对商用的纳米压痕仪进行校准。本文在位移因子已经完成校准的基础上，对纳米压痕仪的压头面积函数和载荷因子进行了校准，并对纳米
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纳米压痕力学测量技术具有操作灵活简单、测量分辨力高、对样品无损或微损等优点，广泛用于金属、微机电系统、复合材料、生物材料、薄膜涂层等材料力学性能的测试。商用的纳米压痕仪的位移和载荷传感器都存在测量误差，压头面积函数和理论模型也会有所偏差，这些误差都会导致测量准确度的下降，因此需要对商用的纳米压痕仪进行校准。本文在位移因子已经完成校准的基础上，对纳米压痕仪的压头面积函数和载荷因子进行了校准，并对纳米压痕力学测量系统的硬度和折合模量的测量不确定度进行了评定。主要研究工作及结果如下：1.玻
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