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薄膜中亚稳结构的形成有着其特殊的特点,薄膜沉积的过程是一个远离平衡态的过程,该过程容易形成许多平衡相图上所不存在的晶态和非晶杰等亚稳结构相.该文采用电子束蒸镀的方法制备了Fe/Tb多层膜,用离子束辅助沉积的方法制备了Fe-Tb合金薄膜.利用多种手段对薄膜样品进行了微观结构分析,表面形貌分析与磁性能分析,以期对Fe-Tb薄膜中亚稳结构的形成及其对磁学性能的影响有较全面的认识.