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空气静压支承是超精密制造装备中的关键部件,因其具有几乎零摩擦、无发热、隔离振动传递效果好等优点,广泛应用于超精密机床等代表最高水平的尖端制造装备。然而,提高气浮支承的承载力与刚度是使其满足超精密加工需求的核心。通常通过增加供气压力、降低气膜厚度、优化支承结构等手段来提高刚度特性,本文试图利用阵列式压电陶瓷结构改变气膜形状,以提高承载力与支承刚度。为了实现上述目标,本文围绕非均匀气膜承载力与动刚度增强机制这个关键问题展开研究。为了研究压电主动控制气浮支承动刚度增强机制,本文主要进行以下研究工作:建立稳