延迟线是一种应用广泛的微波电子器件,相比于传统材料制备的延迟线,YBCO延迟线不仅体积小而且表现出噪声小、功耗低、灵敏度高等优点,已成为高温超导器件的重要研究方向之一。另一方面,超导延迟线结构较为复杂,微细加工条件要求较高,使用传统的刻蚀技术制备超导延迟线,不仅刻蚀速度慢,精度不高,并且对超导性能有较大影响,因此寻求一种简单有效又不影响YBCO性能的微细加工方法具有重要的意义。本文使用了一种新颖的感光溶胶-凝胶微细加工方法,首先引入感光化学修饰剂苯酰丙酮(BzAcH)使低氟YBCO溶胶获得紫外感光特性,然后用提拉法在0.5mm厚的LaAl03基片上制备了具有感光性能的凝胶膜,最后根据优化工艺制备出结构复杂、无断路的YBCO超导延迟线。优化工艺流程为:YBCO凝胶膜在80℃时干烘8min,通过掩膜在紫外光下曝光,在体积比为无水甲醇:正丁醇=6:10的溶洗剂中溶洗5s,得到完整无缺陷的凝胶膜图形,最后通过优化的热处理工艺使其转变为具有超导性的YBCO超导延迟线。YBCO超导延迟线的设计采用特性阻抗为50Ω微带线结构,其图形为曲折双螺旋构型。制备出的延迟线平均线宽为159μm,线长为700mm,平均膜厚为190nm,与设计线宽基本相符。对所制备的延迟线超导测试表明,该超导延迟线的超导临界转变温度Tc为89K,转变区间为2K,临界电流密度Jc约为0.993×106A/cm2。经过网络矢量分析仪测试发现,在温度为77K,信号频率为1.1GHz～3.0GHz时,延时约为8.6ns。实验表明,采用感光溶胶-凝胶工艺制备YBCO超导延迟线具有良好的超导性能,这种无损超导性能的微细加工方法也对YBCO微波器件的制备具有一定的意义。