【摘 要】
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该文主要研究如何运用统计过程控制(SPC:Statistical Process Control)技术,对 产微电路生产过程中的缺陷成团效应和多变量问题进行了实时在线监控.对缺陷问题详细讨论了描述
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该文主要研究如何运用统计过程控制(SPC:Statistical Process Control)技术,对 产微电路生产过程中的缺陷成团效应和多变量问题进行了实时在线监控.对缺陷问题详细讨论了描述缺陷空间分布的数学模型,以Neyman分布和负二项分布模型为基础建立成团时的缺陷控制图;对多变量问题,运用均值向量控制图原理,将多变量数据处理成一个综合量--HotellingT<2>统计量,建立T<2>控制图处理多变量数据,并讨论分析了多变量过程失控时 各分量的受控情况.最后将这两部分设计成两个软件模块加入到XDSPC软件系统中去.
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