【摘 要】
：
随着超大规模集成电路(VLSI)的特征尺寸不断缩小,为降低RC延迟的影响,后段集成普遍采用低介电介质材料(Low-k材料)双大马士革铜互联工艺。在诸多的双大马士革结构刻蚀工艺中,
论文部分内容阅读
随着超大规模集成电路(VLSI)的特征尺寸不断缩小,为降低RC延迟的影响,后段集成普遍采用低介电介质材料(Low-k材料)双大马士革铜互联工艺。在诸多的双大马士革结构刻蚀工艺中,金属硬掩膜一体化刻蚀工艺是迄今为止最为先进的工艺。与传统光刻胶掩膜工艺相比,金属硬掩膜(氮化钛TiN)的引入带来了特征尺寸(CD)可控性强、工艺延展性大,介质膜损伤小等优点;但同时由于大量金属成分的介入,也给工艺控制带来了一系列负面影响。本文着重就55nm金属硬掩膜一体化刻蚀工艺存在的TiN硬掩膜过刻蚀问题、TiN表面金属副产物残留问题、金属副产物引起的刻蚀残留问题展开课题研究并提出改善方案。通过DOE方法找出高刻蚀选择比的条件,解决了TiN硬掩膜过刻蚀问题和金属硬掩膜表面残留缺陷问题;通过优化前处理步骤(Pre-condition)和在步骤转换之间增加过渡步骤,有效解决了刻蚀残留缺陷问题。开发出的新工艺条件:氧化膜的过刻蚀量~30%、SiCN的过刻蚀量~100%,符合规格;电性指标验证:工艺时间±10%窗口验证数据导线电阻测试及孔洞接触电阻均在规格内(导线电阻规格:0.175±0.1Ω/SQR;孔洞接触电阻规格:2.8±1.7Ω/Count);电迁移指标(EM)可靠性验证,器件寿命达到89.5年(规格>10年),可靠性验证表现良好;产品良率验证:工艺时间±10%窗口验证数据显示良率达到98%以上(规格>95%),充分满足大规模量产。新工艺条件的开发,为推动金属硬掩膜一体化刻蚀工艺的技术进步和发展做出了有益尝试。
其他文献
目的：建立补肾益脑胶囊中五味子醇甲的含量测定方法。方法：采用HPLC法,紫外检测器,测定五味子醇甲的含量。结果：五味子醇甲在0.032 26～0.322 6μg之间有良好线性关系（r=0.999 98）,
1、EQ3243VB驾驶室断裂分析1、1 前悬置撕裂分析EQ3243VB车型是东风商用车公司根据矿区市场需要于2005年开发的一种重型载重车，其标准载重量为11.8t．发动机采用玉柴发动机。用
[摘 要：随着社会和时代的发展，当前的历史时期下新的教学理念不断出现，随着新课改理念的提出，初中语文课堂教学也要不断发现自身存在的问题，不断转变教学方法，注重创新。初中语文教学要充分把握学生的心理特点和智力发展水平，对语文教师有着极强的要求，需要用精炼的语言、现代化的教学方法，培养学生的学习兴趣，使课堂朝着高效率快节奏的方向发展，不断提升学生的综合素质。 关键词：新时期;初中语文;课堂教学]
随着医疗市场的开放和竞争,群众就医要求的提高,医院软件的建设急需支持,高层次专业人才的潮流即将扑面而来.这无疑对护理队伍的建设也提出更高的要求,既然在护士岗位上,就应
目的：观察枳术饮对功能性消化不良（FD）大鼠血管活性肠肽（VIP）及其受体mRNA表达的影响,探讨该方促进肠道动力的作用机制。方法：将Wistar大鼠随机分为正常组、模型组、枳术饮组和西沙
针对定位和导航的研究,需要不同程度地恢复物体在室内场景下的三维运动轨迹,提出基于改进的Mahony互补滤波算法求解三维运动轨迹的方法。实验使用智能手机内置运动传感器和MP
5G移动通信的发展,推动了手机天线所用柔性印制电路(FPC)基材的材料创新.本文介绍了FPC绝缘基材的介电性能对高频信号传输的影响,综述了5G高频FPC所用聚酰亚胺基材MPI的结构
根据网络时代的特点,指出高校德育在网络时代的特异性和必要性,提出了网络时代高校德育工作一些建议.
电信诈骗犯罪作为网络时代的一种新型犯罪,具有涉及面广、组织集团化、手段多样化、手法智能化等特点,给侦查破案带来一定困难;同时由于两岸间对犯罪行为人的处理和司法诉讼