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TaN和TaN/AlN薄膜的力学性能和热稳定性的研究

来源 :吉林大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：youjia88

【作 者】

：

郭欣 

【出 处】

：

吉林大学

【发表日期】

：

2018年09期

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