近年,随着石油、化工、制药等领域的发展,人们对气体分析检测的需求越来越大。气相色谱作为一种高效、高灵敏度的气体检测技术,被广泛地应用于众多检测领域。热导检测器（TCD）是气相色谱系统中的核心部件,与传统的热导检测器相比较,微型热导检测器（μTCD）具有质量轻、体积小、灵敏度高等优点。但是,μTCD的工艺繁多、制备精度高、成本大,导致微型热导检测器的研制困难。所以,目前为止,还未出现商业化的国产商品供应。为此,本文通过对微型热导检测器的优化和制作的研究,降低器件的制作难度,提高制作的成品率,实现μTCD批量的制作。本文的主要研究成果如下:（1）通过优化热敏元件的形状和气流沟道的结构,本文设计了多种形状的热敏元件,并利用COMSOL软件对热敏元件进行仿真。结果表明,圆弧型的稳定性优于折线型拐角;另外,通过对不同角度的圆弧进行仿真,研究圆弧角度对形变量的影响。结果显示,180°圆弧折角具有最优的力学稳定性。网状和叉指型的热敏元件则需要通过合理地设计调控力学性能。（2）研究热敏元件的制作工艺,制作得到不同的热敏元件。研究表明,圆弧型的热敏元件剥离效果优于传统折线形的热敏元件。而且,采用磁控溅射方法制备Pt金属薄膜的电阻率为14.8×10-8Ω·m,比采用电子束蒸发得到的Pt金属薄膜电阻率低约12%。（3）研究了微桥结构的制作工艺,并利用干法刻蚀成功地制作了高深宽比的气流沟道。分别采用双层普通胶和单层厚胶制作厚胶掩膜,并通过对制备参数的优化,制备出满足刻蚀条件的厚胶掩膜。（4）经过图形设计、掩膜版制备、工艺优化等工作,成功地制作出尺寸为5×5 mm~2的微型热导检测器,并对其进行性能测试。测试结果表明,器件可以对甲烷、丙烷、异丁烷、正丁烷、正戊烷五种气体进行检测,五种气体的分析时间约为18 s,从进样到分析的时间仅为2 min。此外,检测器封装强度测试表明,自制微型热导检测器的键合强度能够达到11 MPa,满足器件的强度要求。