【摘 要】
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本文以193nm(ArF)步进扫描投影光刻机中100nm投影光刻物镜为切入点,探讨高性能光学系统的定中心问题。首先介绍了新旧国家标准关于透镜中心误差的定义,归纳和总结了目前物镜
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本文以193nm(ArF)步进扫描投影光刻机中100nm投影光刻物镜为切入点,探讨高性能光学系统的定中心问题。首先介绍了新旧国家标准关于透镜中心误差的定义,归纳和总结了目前物镜装校定中心的三个体系,讨论了光学系统中心误差自准反射法测量原理、公式和测量方法,以及根据自准反射法测量原理而设计开发的定中心仪器——内调焦定心仪、中心偏测量仪等设备。应用自准反射法测量原理和相应的仪器,重点论述了三种典型的高性能光学系统的装校定心方法、工艺和实际定心结果。论述了最佳基准轴评价方法以及在镜头装校定心中的应用。本文对进一步提高高性能光学系统的定中心精度提出了解决途径,设计了新型的超高精度中心偏测量仪,为100nm步进扫描投影光刻机物镜的装校定心提供了技术保证。
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