随着微机械工业的越来越成熟,继压力传感器后,MEMS加速度传感器也成为了成功的商业化器件。本文对微机械加速度传感器进行了设计分析,并深入研究了器件的制作工艺尤其是ICP刻蚀工艺,并制作了检测电路。首先,通过材料力学的相关知识对加速度敏感部分进行了初步分析,提出了理论上的优化方案;利用有限元分析软件ANSYS对所设计图形进行了应力和模态分析,初步确定了传感器器件的形状和尺寸。其次,通过对ICP刻蚀技术的深入研究,得出了刻蚀高深宽比结构所需的最佳工艺条件,确定了制作微加速度传感器的关键部分——折叠弹簧梁结构所需要的工艺参数。对加速度传感器的制作工艺流程进行了设计和研究,解决了制作过程中遇到的一些问题。最后,针对所设计的加速度传感器器件的输出特点设计了检测电路。通过测试,我们可以认为该检测电路基本能够实现对器件输出的测量。