微电子产品高质量高产能的制造，取决于关键机构的高精度定位与高加速度运动的二者兼顾，高速高精度大行程定位平台是微电子产品和超高精加工的关键。高精度与高加速度运动与定位可采用宏微运动相结合的复合运动实现，国内外已有类似研究。然而，宏微复合高速运动及其子系统运动的切换机理及行为描述等核心问题，包括数学描述、振动行为、运动特性、以及稳定性评价等，一直未得以有效解决。针对高速宏微运动平台应用中还存在的众多问题，特别是高加速度运动与精密定位要求的系统隔振与减振问题，和宏动、微动平台间的运动切换和协调控制等问题，本论文提出一种基于压电陶瓷的高速精密宏微两级定位平台机构，采用高性能音圈电机驱动平台进行微米级精度定位;压电陶瓷直接连接在音圈电机的输出轴上推动运动平台，在平台进行减速末端，压电陶瓷进行高频运动进行减震;当平台稳定下来压电陶瓷进行纳米级别定位;采用纳米分辨率的高精度绝对光栅对平台的运动进行全闭环控制;在建立宏微平台的机构模型上，提出宏微平台机构的运动控制以及压电陶瓷减振控制策略。本论文的研究内容主要包括以下几个方面:　　(1)对宏微平台的机械结构进行建模、分析。包括音圈电机的宏平台的设计和压电陶瓷微动进给部件的设计。　　(2)提出基于压电陶瓷的两级光栅定位方法，实现宏微复合平台高速高精度的定位要求。　　(3)根据宏微平台的定位要求和性能，对音圈电机、压电陶瓷、直线导轨、绝对光栅等主要部件进行分析验证和选型，并搭建起宏微复合平台的实物。　　(4)建立宏微平台的动力学模型，并进行动态性能的分析，提出利用压电陶瓷进行减振的理论方法。　　(5)在宏微复合平台搭建平台的实物基础上进行实验验证测试。包括对音圈电机的性能的测试、压电陶瓷输出位移的标定和平台整体的定位误差的实验。