毫米波太赫兹固态功率合成关键技术研究

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毫米波太赫兹频段是下一代通信的重点发展方向。发射功率是太赫兹系统中的关键指标,功率的大小直接决定了系统的作用距离。毫米波太赫兹频段的固态功率器件近些年取得了显著的进步,推动了国内外太赫兹技术的发展。然而,单个功率器件的输出功率还不足以满足系统需求。因此,开展毫米波太赫兹固态功率合成技术具有重要意义。本论文以自主Ga N功率器件为基础,深入研究W波段和G波段功率合成技术。重点研究了圆波导径向合成技术、基于硅微机械加工工艺的硅基波导合成技术、以及毫米波太赫兹功放的工程化技术。在此基础上,应用相关技术研制出了W波段100瓦固态功率放大器和G波段1瓦固态功率放大器。本论文的主要贡献包括以下四个方面:1.基于圆波导传输模式的理论分析,提出了W波段圆波导高次模功率合成的新方案,实现了TE01和TM01两种模式的高效径向合成器及其对应的两种模式转换器。通过圆波导高次模激励的技术方案,在W波段实现的多路高效径向合成,具有合成效率高、易加工、结构紧凑等特点。具体地,本论文深入分析了TE01模和TM01两种模式在圆波导内的电磁场分布,重点研究了由这两种模式激励的多路径向合成器,设计并加工了16路TE01模径向合成器和8路TM01模径向合成器。实测结果表明,这两种圆波导高次模径向合成器的合成效率分别达到92%和80%。2.提出了一种基于低损耗波导密封结构和EBG销钉腔体谐振抑制结构的W波段芯片封装技术。进一步通过小型化高效合成结构和相位匹配技术实现了W波段大功率固态功率放大器。深入研究了W波段大功率固态合成功放的两个关键难点,即芯片封装和高效合成。针对W波段功放模块波导输出的特点,通过将微带探针和封装结构相结合的方式,实现了一种W波段低损耗波导密封结构,结合EBG销钉结构的腔体谐振抑制方法,实现了适合W波段功放功率封装模块。以开发出的功放封装模块为基础,通过8路波导合成结构,实现了15瓦的功放模块。通过对W波段固态合成功放工程化技术的突破,最终在W波段实现了100瓦的输出功率。3.提出了一种基于硅微机械加工工艺的硅基波导功率合成技术。首次实现了基于矩形波导的硅基波导功率合成模块和基于圆波导的硅基径向波导功率合成模块。由于采用了半导体工艺,实现了纳米级精度的波导加工方式,为毫米波太赫兹频段供了一种高效功率合成的技术路径。结合硅微机械加工工艺的特点,设计了一种H-T合成器和2路并行波导合成器,并且制作了硅基H-T合成器和硅基四路波导合成器,获得了较高的合成效率。通过将硅基合成器和微带探针、Ga N功放芯片的集成实现了两种硅基合成功放模块。经过实测,两路硅基合成功放模块实现了4.25W的输出功率,PAE为14.7%,典型合成效率大于92%;四路硅基合成功放模块实现了8.05W,PAE为15.05%,典型合成效率大于88%。基于圆波导TM01模式激励,通过两层硅片堆叠,深硅刻蚀、金-金键合等工艺在较小的尺寸内实现了8路硅基波导径向合成器。并采用硅基H-T合成器设计了一种TM01模式转换器。在此基础上开发出了一种W波段硅基径向合成功放,在94-98GHz的频率范围内,实现了24.7W以上的输出功率,峰值功率达到了31W,PAE达到了13.2%,模块尺寸相比传统径向合成功放模块减少了75%。为毫米波系统提供了一种小型化、高集成的固态功放解决方案。4.突破了G波段固态功率合成的关键工程技术,首次基于自主Ga N功率器件及高效功率合成技术实现了G波段1瓦固态功率放大器。通过计算和分析G波段波导的传输损耗,以此确定了太赫兹功率合成器的设计准则。设计了基于过模结构的E面T型结合成器和新型H面T型结合成器,以及一种4路径向合成结构,获得了良好的合成效率。针对太赫兹芯片的装配特点提出了一种金丝补偿技术,通过低通滤波结构吸收金丝键合引入的不连续性,进而实现了G波段两合成功放单元模块。通过进一步的功率合成在G波段最终获得了典型值1W的输出功率,突破了国内G波段大功率固态功放的技术瓶颈。
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