在工业技术快速发展的背景下，装备制造业转型成为新旧动能转换的核心，其中的关键则是提升装备制造业技术创新效率。本文通过语义分析法对装备制造业技术创新投入产出要素提炼，并运用Eciews8.0分析对投入产出要素进行相关性验证。基于DEA两阶段模型构建装备制造业技术创新效率评价模型，并对山东省装备制造业不同行业和不同区域的技术创新效率进行实证分析评价并提出相关对策。具体如下：　　第一，确定了山东省装备制造业技术创新发展情况。从时间序列模型分析上来看，现阶段装备制造业技术创新发展并不十分理想，技术创新资源投入与产品产出之间的关系并不能达到持续盈利的状态，通过对山东省技术创新发展的描述性分析，本文认为造成这种形式的重要原因是装备制造业技术创新效率较低。　　第二，构建了装备制造业技术创新效率测评模型。通过语义分析法得出装备制造业技术创新投入产出要素，包括R&D经费支出、R&D人员、专利申请数投入要素，还包括专利授权数、新产品数量、新产品产值、新产品销售收入产出要素。通过Eviews8.0对这些要素进行相关性分析，剔除了新产品数量、新产品产值两个无关要素后，基于DEA两阶段模型构建了山东省装备制造业技术创新投入产出两阶段评价模型，第一阶段为技术研发阶段，投入产出要素为R&D经费、R&D人员和专利申请数，第二阶段为产品转化阶段，投入产出要素为有效专利数、新产品R&D经费、R&D人员和新产品销售收入。　　第三，基于山东省装备制造业技术创新效率投入产出两阶段模型，运用DEA2.1对模型从纵向和横向两方面进行评价，评价结果显示山东省装备制造业技术创新效率没有达到有效状态，存在资源浪费、产业结构不合理、缺乏高新技术人才等现象，导致山东省装备制造业技术创新效率低。针对山东省装备制造业技术创新不足提出相关的政策和建议，为进一步提升装备制造业技术创新效率，促进装备制造业转型升级。