如今能源问题越来越受到关注，作为清洁的、可再生能源的一个分支，太阳能产业的发展越来越受到各国的重视。根据欧洲联合研究中心的相关预测，太阳能发电在未来能源结构中占有重要战略地位。而太阳能电池的转化效率是光伏发电中的关键问题，为了加工出更加均匀、陷光效果更好的多晶硅绒面，提高太阳能电池的光电转化效率，本文首次提出了一种超声驻波控制下的多晶硅腐蚀制绒的新方法。这种方法通过超声波经由反射端形成超声驻波场，由两列独立的相互垂直正交的超声驻波形成二维超声驻波场，通过此驻波场来控制腐蚀溶液中的反应粒子，以此来加工多晶硅的表面微结构。本文将超声驻波对粒子的控制作用，创新性地运用到多晶硅绒面的加工上去，为多晶硅制绒新方法的探寻提出了新的思路。本文首先讨论了流体介质中粒子在超声驻波场中的受力，建立了一维超声驻波场中粒子的运动方程，分析了粒子的受力运动情况。并将此运动方程扩展到了二维情况下，分析了粒子的二维运动状况。然后，通过MATLAB模拟了粒子的一维和二维运动，分析了粒子运动的影响因素，并通过模拟和比较得出了各因素对粒子运动的具体影响。最后，通过实验验证了超声驻波对粒子的控制作用，并进行了超声驻波多晶硅腐蚀试验。本文主要研究内容和成果如下：1.分析了流体中粒子在超声驻波场作用下受到声辐射力、粘滞阻力和虚拟质量力的作用，建立粒子运动方程，分析运动情况得出粒子在一维驻波场中形成直线排列，二维驻波场中呈现“网格状”分布。2.模拟粒子在驻波场中运动情况，分析影响其运动的因素，得出超声频率、声压幅值和粒子半径对粒子运动状况均有影响。超声频率改变粒子分布的位置，频率和声压幅值影响粒子聚集到平衡位置的时间及粒子自身的振动状态，粒子半径影响粒子相对于平衡位置的低频振动。3.多晶硅超声驻波腐蚀试验表明，施加了超声驻波的情况下，多晶硅表面腐蚀坑更加均匀，较深腐蚀坑更多，陷光效果更好。