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骼反应磁控溅射在相同工艺情况下,分别在W18CrV和T10A表面上沉积氮化碳(CN)薄膜,研究和探讨了它们在给条件下的摩擦学性能,并对影响其摩擦学性能的一些因素进行了研究和分析,在此基础上采用SEM分析了摩擦磨损表面微观形貌并用X向导射线能谱仪测试了表面的化学成份.实验结果表明,用反应磁控溅射法制备的CN硬质镀薄膜具有良好的摩擦损性能和较高的硬度;微观切削、疲劳磨损和剥落是薄膜的磨损机理.该文探索了关于CN薄膜摩擦学特性的知识,为CN薄膜的刀具应用和深化与推广硬质镀薄膜应用提供了理论基础和实践指导.