再生纤维素基底上氟碳膜的形貌、结构与性能研究

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【摘要】

：

本文利用射频磁控溅射的方法,以纯度为99.99%的聚四氟乙烯(PTFE)为靶材,在再生纤维素基底上沉积氟碳膜,对不同的溅射工艺条件如靶基距、溅射功率和溅射压力进行了研究和探索。利用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察了氟碳膜的表面形貌,并估算了氟碳膜的沉积速率。从SEM照片上可以看出：随着靶基距、溅射功率和溅射压力的增加,沉积在再生纤维素基底上的氟碳粒子逐渐变小、变密,形状从不规则变成较

【作者】

：

刘增机

【机构】

：

青岛大学

【发表日期】

：

2011年04期

【关键词】

：

射频磁控溅射表面形貌沉积速率表面结构紫外吸收接触角

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