光学薄膜实时监控精度决定了所镀制的光学薄膜的厚度精度。随着工业的发展,对所镀膜层的厚度精度要求越来越高,特别是通信领域所用的窄带滤光片,其带宽要求通常小于1nm,它需要镀制几十层高低折射率材料。如果采用晶控等监控光学薄膜物理厚度的方式进行监控,则对每层的镀制精度要求非常高,甚至当前技术无法解决。而薄膜厚度的光学监控具有自动补偿功能,那么前一层的误差可以由后面层补偿,则此时对每层监控精度要求低很多,因此这种滤光片的镀制通常采用光学监控的方法进行监控,这即是本文所研究的背景。对于光学监控存在下面一系列难点以及关键技术需要解决:光源的波动导致监测光的不稳定、镀膜机内蒸镀膜料引起的杂散光的去除、数据信号高精度不失真的采集以及最终规整膜系极值点判断。论文主要开展了如下的工作:首先利用MATLAB软件仿真镀膜过程中膜料的沉积过程,接着使用LabVIEW软件仿真了反射率转化为电信号之后随着时间变化的过程,并采用锁相放大进行噪声抑制和信号解调,采用NI公司的PCI-6281数据采集卡采集镀膜机的主信号和参考信号,通过Savitzky-Golay平滑滤波器处理采集的信号,去除高频噪声,得到了较平稳的信号。讨论了光学薄膜透过率或者反射率曲线随着时间的变化关系,经比较得知采用傅里叶级数函数进行拟合得到的误差最小。最终规整膜系监控采用极值点判断的方法,分别采用了单纯的使用主信号,每隔一秒求一个均值作为此时的监控电压,然后通过拟合求出极值点,这种监控的最终精度为2nm,监控精度相对较低,另外一种监控方法是使用主信号与参考信号作锁相放大,后面同样通过曲线拟合,最终的监控精度为1nm,拥有较高的监控精度,因此最终软件算法采用了第二种判断极值点的方法,通过LabVIEW软件实现了算法的编写。