【摘 要】
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半导体制造业属于继作业车间、流水车间之后发展而成的可重入生产系统，是当今最复杂的制造过程之一。半导体生产线上产品种类多，加工工序通常达到上百道，且设备多，瓶颈设备区工件
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半导体制造业属于继作业车间、流水车间之后发展而成的可重入生产系统，是当今最复杂的制造过程之一。半导体生产线上产品种类多，加工工序通常达到上百道，且设备多，瓶颈设备区工件耗时等待现象严重，对制定半导体生产计划带来很大的挑战。
作为面向订单型制造业，半导体企业的计划者往往根据订单的情况将生产计划分为周生产计划和日生产计划或称为日投料计划。对于制定周生产计划，本文在模糊理论的基础上建立生产线投料优先级评定系统；对于制定日生产计划或日投料计划，本文提出一种基于瓶颈设备工作负荷的平衡投料法。结合对半导体生产线建模，对半导体生产系统进行特性研究，并比较不同投料算法下生产线的性能指标。
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