低膨胀系数电子封装材料ZrW2O8/E-51的制备与性能研究

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环氧树脂具有良好的粘着性、电绝缘性、耐湿性、化学稳定性和电学性能,从而在电子封装领域得到广泛的应用,约占整个塑料封装90%左右。器件和集成电路用环氧树脂封装成型后,由于器件和封装材料线膨胀系数的差异,成型固化收缩导致封装材料器件内部产生热应力,造成强度下降、耐热冲击性降低、老化开裂、封装裂纹、空洞、钝化和离层等各种缺陷。近年来材料学家发现多种负热膨胀(Negative Thermal Expansion,NTE)材料,其中以立方晶体结构的ZrW2O8为代表,具有各向同性负热膨胀效应,在较宽的温度区间内(0.3K~1050K),具有基本恒定的负热膨胀系数。本文以分析纯ZrO2和WO3为原料,采用固相分步法制备负热膨胀材料ZrW2O8粉体,利用其负热膨胀的特性,以ZrW2O8粉体作为填料,在不同填料比例下,采用钛酸三异丙醇叔胺酯(706)作为固化剂,2.4.6-三(二甲胺基甲基)苯酚(DMP-30)作为促进剂,制备ZrW2O8/E-51和SiO2/E-51电子封装材料,并对所制备封装材料的组织、结构、性能及动力学进行了研究分析。对固相化学分步法合成的ZrW2O8粉体,采用扫描电镜SEM、XRD、变温XRD分析,结果表明ZrW2O8粉体的粒径介于0.5~1μm之间,纯度高;在20℃~700℃的区间内,平均线膨胀系数为-5.33ppm/K,具有负热膨胀特性。SEM分析表明,超声波处理能使SiO2和ZrW2O8粉体均匀分散在环氧树脂E-51基体中。采用DSC分析材料的玻璃化转变温度,结果表明在相同添加量下,SiO2/E-51的玻璃化转变温度与ZrW2O8/E-51相当;随着ZrW2O8颗粒填充量的增加,ZrW2O8/E-51材料的玻璃化转变温度随之提高,当ZrW2O8以质量比1:1填充E-51时,玻璃化转变温度达到147.87℃。填料的加入大幅度的降低了环氧树脂封装材料的线膨胀系数,由于ZrW2O8颗粒的负热膨胀特性,相同添加量下,ZrW2O8/E-51体系较SiO2/E-51体系线膨胀系数下降了14.5%,随着ZrW2O8添加量的提高,ZrW2O8/E-51封装材料的线膨胀系数进一步降低。相同填充量下,ZrW2O8/E-51的介电常数高于SiO2/E-51,介质损耗更低;随ZrW2O8含量的增加,ZrW2O8/E-51材料的介电常数εr不断提高,介质损耗不断下降。当ZrW2O8与E-51的质量比为0.7:1时,封装材料的介电常数达到最大;当ZrW2O8与E-51的质量比为1:1时,封装材料的介电常数有所下降。阻温特性表明在室温~163℃范围内,ZrW2O8/E-51材料的体积电阻率稳定在3.03×106Ω·m,较SiO2/E-51材料提高了10%左右。室温下,ZrW2O8/E-51及SiO2/E-51电子封装材料击穿场强均大于10KV/m,满足微电子器件封装材料的实际应用。相同填充量下,ZrW2O8/E-51的力学性能优于SiO2/E-51。当ZrW2O8以质量比1:1填充E-51时,ZrW2O8/E-51的拉伸、弯曲强度分别达到99MPa、158MPa,较1:2填充E-51时增加了15%、13.9%。SiO2/E-51及ZrW2O8/E-51封装材料的显微硬度较纯环氧树脂有所提高。当ZrW2O8填充量增加时,ZrW2O8/E-51的硬度也随之增加,加入量增加到一定程度后,表面硬度略有下降。ZrW2O8粉体填充环氧树脂,材料耐酸性得到提高。当ZrW2O8与E-51按照质量比0.7:1混合时,固化物的耐湿性较好。ZrW2O8/E-51材料的磨损性能优于SiO2/E-51材料,在水润滑条件下,磨损系数和磨损率与干磨损相比大幅度下降;随着试验时间的增加,磨痕宽度变宽,磨痕的表面形貌越粗糙,比磨损率越来越小。采用动态DSC分析,研究了E-51封装体系反应固化动力学,根据Kissinger方程和Crane方程计算出SiO2/E-51/706及ZrW2O8/E-51/706两体系的的表观活化能△E分别为:83.2KJ/mol和70.6KJ/mol,反应级数n分别为:0.9236和0.9234,确定了两体系的反应速率常数K。
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