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以闪存为代表的传统存储器,已经到了尺寸缩减的瓶颈期,而在众多新型非易失性存储器中,阻变存储器凭借其功耗低、擦写速度快、延展性高、寿命长、CMOS兼容性等优点,被认为是未来最有可能取代闪存的新产品。阻变存储器在大规模集成中,一直受到漏电流问题的困扰,为此开发出了1D1R、1T1R、1S1R、CRS等多种单元结构来抑制漏电流。关于1D1R型阻变存储器的研究起步最早,报道最多,其相较于其它结构具有结构简单、单元面积小、易于集成等优点,受到了各大半导体企业的重视,但是关于其弯折失效机制却少有研究。本课题构建了有机/无机异质结的二极管和导电细丝类型的阻变单元,并探究了不同电极的影响,以及弯折对于二极管、阻变单元和1D1R的影响。论文主要内容如下:
首先,以Al和GaIn为上下电极,选用有机材料9,9-二正辛基芴-苯并噻二唑共聚物(PFBT)和无机材料ZnO构建有机/无机异质结的二极管,通过改变电极(Au,Ag,Cu,Al)、膜层结构、插入聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA),并对二极管的理想因子和零偏压势垒高度进行计算,对二极管整流曲线进行线性拟合分析其输运机制,结合Abaqus分析其弯折失效机制。结果表明,不同种类的金属顶电极并未明显改变整流特性,可排除电极/功能层界面的影响;二极管正向偏压下满足热电子发射机制,负向偏压下满足P-F效应;随着外弯次数的增加,负向偏压下逐渐向欧姆传导过渡,正向偏压也逐渐向非理想状态偏移。
其次,以TiO2纳米粒子为阻变介质,Al为上电极,研究不同下电极(Al,Ag,Cu,ITO)对阻变特性的影响。结果表明,器件随着底电极金属功函数的增加,器件的开关比基本呈现增加的趋势,不同活性的电极对阻变稳定性有较大影响。对于化学活性较好的Ag、Cu电极,薄膜在生成氧空位导电细丝的同时,同时在薄膜内部会生成与底电极对应的金属导电细丝,这两种细丝的共同作用,一定程度上引起了阻变特性的不稳定;对于活性较差的ITO、Al电极,其阻变机理为单一的氧空位导电细丝,具有较好的阻变稳定性。实验选择阻变特性最优的Al/TiO2/Al器件探究弯折对阻变机理的影响,器件在外弯3000次后,开关比出现较大退化,模拟发现TiO2膜层的应力要明显大于上下Al电极层,因此在应力累积下,裂纹最先可能萌生在TiO2层,并逐渐向上下电极蔓延。
最后,通过将Al/PFBT/PMMA/ZnO/GaIn二极管和Al/TiO2/Al阻变单元组合形成1D1R单元,并进行内外弯对比,发现二极管相较于阻变单元具有更好的抗弯折特性,无论在内弯中,1D1R单元的整流特性要先于阻变特性发生退化,1D1R单元在弯折600次后,二极管产生退化,此时ZnO层首先出现破坏,使得异质结内建电场破坏,整流特性下降;器件可在正负偏压下发生阻变,弯折1000次后,器件的阻变曲线逐渐向滞回曲线过渡,阻变现象逐渐消失,此时,器件内部的微裂纹生长已对氧空位细丝的主干产生破坏,使得器件难以形成完整的细丝通道。1D1R单元在外弯下的失效要比内弯下剧烈,器件承受拉应力要比压应力敏感,更容易造成裂纹、脱层、屈曲等失效形式。
首先,以Al和GaIn为上下电极,选用有机材料9,9-二正辛基芴-苯并噻二唑共聚物(PFBT)和无机材料ZnO构建有机/无机异质结的二极管,通过改变电极(Au,Ag,Cu,Al)、膜层结构、插入聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA),并对二极管的理想因子和零偏压势垒高度进行计算,对二极管整流曲线进行线性拟合分析其输运机制,结合Abaqus分析其弯折失效机制。结果表明,不同种类的金属顶电极并未明显改变整流特性,可排除电极/功能层界面的影响;二极管正向偏压下满足热电子发射机制,负向偏压下满足P-F效应;随着外弯次数的增加,负向偏压下逐渐向欧姆传导过渡,正向偏压也逐渐向非理想状态偏移。
其次,以TiO2纳米粒子为阻变介质,Al为上电极,研究不同下电极(Al,Ag,Cu,ITO)对阻变特性的影响。结果表明,器件随着底电极金属功函数的增加,器件的开关比基本呈现增加的趋势,不同活性的电极对阻变稳定性有较大影响。对于化学活性较好的Ag、Cu电极,薄膜在生成氧空位导电细丝的同时,同时在薄膜内部会生成与底电极对应的金属导电细丝,这两种细丝的共同作用,一定程度上引起了阻变特性的不稳定;对于活性较差的ITO、Al电极,其阻变机理为单一的氧空位导电细丝,具有较好的阻变稳定性。实验选择阻变特性最优的Al/TiO2/Al器件探究弯折对阻变机理的影响,器件在外弯3000次后,开关比出现较大退化,模拟发现TiO2膜层的应力要明显大于上下Al电极层,因此在应力累积下,裂纹最先可能萌生在TiO2层,并逐渐向上下电极蔓延。
最后,通过将Al/PFBT/PMMA/ZnO/GaIn二极管和Al/TiO2/Al阻变单元组合形成1D1R单元,并进行内外弯对比,发现二极管相较于阻变单元具有更好的抗弯折特性,无论在内弯中,1D1R单元的整流特性要先于阻变特性发生退化,1D1R单元在弯折600次后,二极管产生退化,此时ZnO层首先出现破坏,使得异质结内建电场破坏,整流特性下降;器件可在正负偏压下发生阻变,弯折1000次后,器件的阻变曲线逐渐向滞回曲线过渡,阻变现象逐渐消失,此时,器件内部的微裂纹生长已对氧空位细丝的主干产生破坏,使得器件难以形成完整的细丝通道。1D1R单元在外弯下的失效要比内弯下剧烈,器件承受拉应力要比压应力敏感,更容易造成裂纹、脱层、屈曲等失效形式。