横向多栅极SOI MOS的研究及电路应用

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在VLSI的设计中,为了提高电路的性能价格比,较为重要的一点就是考虑节省芯片面积。由于SOI技术除了功耗低、速度快等特性外,还具有寄生电容小、无闩锁效应、抗辐照耐高温等突出优点。本文提出一种可以实现单管多驱动的横向多栅极SOI MOS器件结构,并且应用于神经元的突触电路和匹配电路设计中,以横向多栅极器件代替普通MOS器件,可以节省芯片面积。利用三维器件模拟软件ISE TCAD,结合0.5μm全耗尽SOI工艺,建立符合亚微米级要求的横向多栅极SOI MOS和普通SOI MOS三维器件结构模型。在相同的结构与工艺参数条件下,对横向多栅极结构和普通MOS结构垂直沟道方向以及沟道电流方向上的电子空穴浓度、电子空穴电流密度、电子迁移率以及电子饱和速率进行了比较分析,比较结果表明横向多栅极SOI MOS器件仅仅在栅极存在的区域存在电流通路;栅极间的裸漏区域并没有受到栅极间强电场的影响而出现电流通路;而且栅极覆盖下源漏区也没有受到栅极纵向强电场的影响。在这个基础之上,对横向多栅极SOI MOS器件的输出特性以及转移特性进行了特性仿真分析,并且与相同结构参数的普通SOI MOS器件进行了比较,模拟结果表明横向多栅极器件的驱动电流与其栅极宽度成正比;而且横向多栅极器件的栅极宽度与普通MOS器件的沟道宽度相同的情况下,它们的饱和漏电流几乎相同;横向多栅极SOI MOS器件栅极工作状态的变化并不影响阈值电压的改变,并且与普通SOI MOS器件的阈值电压一致。此外,提出一套适合横向多栅极器件的顶层工艺流程并进行了工艺模拟,建立了结构图与掺杂网格图,达到横向多栅极结构的工艺要求。应用横向多栅极SOI MOS器件设计了多跳变时间与逻辑阈值的神经元突触电路和匹配电路。电路仿真结果,在有效减小电路面积的同时,电路功能正确,达到设计指标。
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