【摘 要】
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本论文阐述了以甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸环氧丙酯的共聚物（P（MMA-GMA））为基础材料,利用加载条形、脊型和矩形波导设计与制备聚合物电光开关和热光开关的工作。P（MMA-GMA）是一种
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本论文阐述了以甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸环氧丙酯的共聚物（P（MMA-GMA））为基础材料,利用加载条形、脊型和矩形波导设计与制备聚合物电光开关和热光开关的工作。P（MMA-GMA）是一种低成本,且具有良好光学特性,适于制作平面光路（PLC）器件的聚合物材料。论文重点介绍了采用分散红（DR1）合成掺杂型DR1/TiO2/SiO2复合材料,利用P（MMA-GMA）、金属电极制备极化聚合物电光开关的详细过程;制作了基于多模干涉（MMI）耦合器的Polymer/Silica结构2×2热光开关。本论文的主要创新点为:1.利用溶胶-凝胶（Sol-gel）方法合成了掺杂型DR1/TiO2/SiO2有机-无机复合电光材料,它具有不小于20pm/V的电光系数和良好的极化稳定性。根据材料特点制作了以P（MMA-GMA）为引导层的加载条形光波导,采用标准平面半导体工艺制作了Mach-Zehnder（M-Z）型电光调制器和定向耦合器（DC）结构2×2电光开关。经测试,开关时间达到百纳秒量级。2.根据有机聚合物材料热光系数大的特点,将硅衬底作为理想热沉,设计了以SiO2为下包层,P（MMA-GMA）为芯层和包层的2×2多模干涉（MMI）型热光开关,器件结构简单,光学性能稳定,开关的上升和下降时间均为0.5ms
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