钛酸钡基铁电薄膜的制备及性能研究

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电学可控的自发极化使得铁电薄膜器件具有向多功能化、新型应用等方向发展的巨大潜力。其中,铁电体的阻变(RS)效应和反常光伏效应引起了人们的广泛关注,但是微观导电机理的不清晰阻碍了它们的实际应用和发展。本文对比研究了掺杂Sr~(2+)和Zr~(4+)对钛酸钡薄膜材料的微结构和电性能的影响规律,并在此基础上探究基于锆钛酸钡(BaZr_xTi_(1-x)O_3,BZT)薄膜的非易失性阻变存储器和光伏器件,关注薄膜的微结构变化与器件的宏观光、电性能之间的联系。首先,采用固相反应法制备了x分别为0,0.05,0
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