【摘 要】
:
根据预设的几何模型计算晶体的理论重量,提拉法生长激光晶体对生长重量进行控制,间接达到控制直径的目的,其过程具有参数时变、非线性、纯滞后和大惯性的特性。随着激光晶体的生长,坩埚内晶体熔液液面下降以及炉内固熔比例发生变化,造成炉内的温度波动,固熔界面的熔质偏聚导致晶体结晶温度不断降低,晶体长度的增加使得散热性能变差也引起了生长后期炉内的温度上漂,导致晶体生长中断。针对以上影响晶体生长的因素,从晶体生长
论文部分内容阅读
根据预设的几何模型计算晶体的理论重量,提拉法生长激光晶体对生长重量进行控制,间接达到控制直径的目的,其过程具有参数时变、非线性、纯滞后和大惯性的特性。随着激光晶体的生长,坩埚内晶体熔液液面下降以及炉内固熔比例发生变化,造成炉内的温度波动,固熔界面的熔质偏聚导致晶体结晶温度不断降低,晶体长度的增加使得散热性能变差也引起了生长后期炉内的温度上漂,导致晶体生长中断。针对以上影响晶体生长的因素,从晶体生长控制算法的角度对晶体生长关键控制技术进行研究。首先,基于晶体生长输入/输出数据对晶体炉和晶体建模。其次,分别采用模糊PID控制算法、BP神经网络整定PID控制算法和经过Adagrad优化算法改进的BP神经网络整定PID控制算法等三种晶体直径控制方案进行建模,设计了晶体生长控制器。最后,基于MATLAB/SIMULNINK搭建了晶体生长控制系统仿真模型,分析晶体生长过程中影响晶体生长的干扰因素,将干扰因素的等效模型加入到系统仿真模型,通过SIMULINK的仿真运行,得到三种控制方案下的阶跃响应曲线和干扰响应曲线并进行对比,验证算法的有效性。仿真实验表明,经过Adagrad优化算法改进的BP神经网络整定PID控制算法能够取得较好的晶体生长控制效果,相比模糊PID算法具有较好的动态响应,调节时间减少了 45s,相比传统BP神经网络PID算法的整定过程更稳定,系统超调量控制在0.13%,在晶体提拉生长过程中能够较好地克服干扰,保持生长温度的稳定,抑制温度上漂,实现晶体等径生长。称重系统的实际测试表现出良好的精度和线性度,重量误差小于±0.1g,符合晶体生长需求;晶体生长过程数据分析表明,晶体直径误差小于±1mm,晶体生长稳定。
其他文献
股票市场在一个国家的国民经济中扮演着重要的角色,人们往往可以从一个国家的股票市场中粗略地看出它的的经济发展状况,对于股票市场波动的研究变得愈加具有现实意义。它不仅
网络影响力分析是复杂网络研究的热点内容,其包括节点影响力度量问题和影响力最大化问题,前者是评估网络中各个节点的影响力,后者是评估网络中节点集合整体的影响力,并从中选
随着经济的快速发展和社会的进步,我国行政事业单位治理问题越来越突出,为了优化行政事业单位内部治理结构,提高管理水平,防止徇私舞弊,财政部明确要求各层行政事业单位从201
半群及其对合半群的有限基问题是半群代数理论和泛代数的一个重要的研究问题.在上世纪八十年代左右,已经证明了所有阶数小于等于5的半群都是有限基的.最近,高梦等人发现了一
模型检测是一种有效的自动化验证技术,已成功应用于安全和通讯协议、随机分布式算法、生物系统和电源管理等领域对系统进行分析与验证。作为一种形式化验证技术,模型检测能够
非负矩阵是矩阵中的一类重要矩阵,其谱半径的估计问题是非负矩阵理论研究的主要课题.近年来,已有许多关于非负矩阵谱半径估计的研究.张量作为矩阵的推广,其谱半径在科学和工
长江中游城市群是由武汉城市圈、长株潭城市群、环鄱阳湖城市圈三个子城市群突破行政壁垒的约束而形成的超大城市群。近年来,我国不断提出要加强自主创新建设,提高国家综合竞
反演一直作为勘探地球物理和应用数学研究的重点对象之一。虽然全波形反演具有高精度、高分辨率等优点,但初始迭代速度模型的选取会严重影响全波形反演的结果,所以提供一个较
光不仅为植物进行光合作用提供直接的能量来源,而且也作为重要环境信号,参与到调控植物生长发育各个方面。在自然条件下,植物幼苗地上部分以及生长于暗处的根部均能够感受外
目的观察参附注射液对脓毒症模型大鼠干预后,通过检测干预组、模型组、假手术组大鼠血清肿瘤坏死因子-α(TNF-α)、二胺氧化酶(DAO)、D-乳酸和肠粘膜上皮细胞紧密连接蛋白Occ