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该研究主要针对MEMS中的一些典型的力学问题进行研究分析.一方面对MEMS中的某些基础问题进行了探讨;另一方面,又对MEMS中典型的应用问题进行了较深入的.具体地说,由于静电力是MEMS中最常用的致动力,所以首先探讨了一个MEMS技术中的基本问题:静电场中柔性结构的变形问题.提出了用边界单元法结合有限单元法来解决这个问题;微机电陀螺仪是MEMS的一个典型应用,在军事和民用中都有巨大的用途,因此深入系统地微陀螺仪是很有意义的.该研究将通过建立微陀螺仪的力学模型的办法对之理进行分析和研究.