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随着临床医学检测技术的迅速发展和人们对健康指数要求的进一步提高,实现对生物化学分子的有效检测和操控在医疗诊断、临床治疗和环境监测等领域越来越重要。虽人们在传统技术基础上不断研发出新的生物化学传感器和驱动器,但是这些器件在以下几方面的性能仍有待提高:1)高通量的样品检测;2)多参数复合的高准确性检测;3)实现对极低浓度样本的高灵敏度检测;4)实现对生物分子的精确操控。本论文以解决上述问题为出发点,通过传统半导体工艺制备高性能薄膜声波谐振器,并作为传感器和驱动器实现对生物化学分子的检测和操控。论文的主要