由于氧化物半导体气体传感器具有结构简单、成本低、灵敏度高等特点,得到广泛的应用。但其稳定性、选择性等方面仍有待改善,且难度较大,急需开发新的气敏材料。因此,研发Cr₂O₃纳米材料作为一种新的气敏候选材料,具有重要的意义。本论文采用沉淀法、水热法、柠檬酸盐法合成了Cr₂O₃纳米粉体以及采用共沉淀法制备了Cr_2-xM_xO₃（x=0.1-0.5）（M=Fe、Sn、Ni）纳米粉体,利用XRD、SEM、XPS、BET等对结构进行了表征,并制备了厚膜型气敏元件,在丙酮、正丙醇、乙醇、甲醇、苯和甲苯等气体中测试了它们的气敏性能。发现沉淀法制备的Cr₂O₃纳米粉体具有较佳的气敏特性,经450 oC烧结材料的气敏性能较350oC烧结的好;在最佳加热电压4 V时,其厚膜型元件对正丙醇、丙酮、乙醇和甲醇气体的灵敏度较高,其检测限低至10μL·L^-1,且具有较好的抗湿性。而掺杂Fe、Sn、Ni三种元素对材料的导电性、气敏性能有不同程度的改善,其工作温度也有所降低,其中Cr_1.5Ni_0.5O₃在其最佳加热电压4.5 V下对正丙醇的敏感性最好,对丙酮、乙醇、甲醇的敏感性依次降低,对正丙醇、丙酮、乙醇的检测限可低至5μL·L^-1,响应恢复时间比纯Cr₂O₃材料明显缩短,材料仍有较好的抗湿性。利用射频磁控溅射技术制备了Cr_1.5Ni_0.5O₃薄膜,在700oC热处理后,薄膜基本保持了其粉体的元素组成和表面状态。在响应-恢复能力方面,薄膜材料比厚膜材料有所提高,但对测试气体的灵敏度稍有下降。