【摘 要】
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随着科学技术的进步以及薄膜制造工艺水平的提高,信息技术的重要组成部分——信息存储得到了空前的发展。存储器正朝着小型化、存储密度高、功耗低、读写速度快、数据保持时间长、与CMOS工艺兼容等我们所希望的方向发展。目前,研究者们更多的把关注的重点放在了新型非易失性存储器上,例如磁存储器、铁电存储器、相变存储器、电阻存储器。而在这些存储器中,阻变存储器因自身的众多优点,例如结构简单、制造成本低、读写速度快
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随着科学技术的进步以及薄膜制造工艺水平的提高,信息技术的重要组成部分——信息存储得到了空前的发展。存储器正朝着小型化、存储密度高、功耗低、读写速度快、数据保持时间长、与CMOS工艺兼容等我们所希望的方向发展。目前,研究者们更多的把关注的重点放在了新型非易失性存储器上,例如磁存储器、铁电存储器、相变存储器、电阻存储器。而在这些存储器中,阻变存储器因自身的众多优点,例如结构简单、制造成本低、读写速度快、功耗低、单个器件可缩小至数十纳米等,受到了人们的广泛关注。在阻变存储器的研究中,我们发现了双极性电阻开关,同时得出不同衬底对导电性质的影响。这些现象的发现能够为研究者更全面的了解电阻开关的形成机制、进一步认识阻变存储器提供很好的帮助。本论文主要包括以下内容： 采用脉冲激光沉积技术（PLD）制备了W/Bi0.95Ba0.05FeO3/Pt三明治结构的阻变存储器件,通过X射线衍射仪（XRD）、扫描探针显微镜（SPM）分析薄膜的特性。进一步应用Keithley2400对阻变器件进行电学性能测试。在经历了Electroforming电压操作后,薄膜器件表现出良好的开关性能,包括较低的阈值电压、良好的抗疲劳性和保持特性。同时,为了更好地改进BFO材料阻变特性,我们进一步对用Ca离子进行掺杂并制备薄膜Bi0.95Ca0.05FeO3/LaSr0.7Co0.3O3/ITO进行了相关测量,得出我们的假设是正确的。最后,根据测得的两种材料的电学性质I-V曲线,可知材料是双极性的,并且应用肖特基发射模型来解释所得到的双极性电阻开关性质。
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