大型超低频空气弹簧隔振平台电磁阻尼系统相关研究

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超精密光电测量仪器、超微细加工、测试及科学实验对环境振动的要求越来越高,对大型高性能超低频防微振实验平台需求迫切。本文针对大型超低频空气弹簧隔振平台阻尼小、低频隔振性能较差的现状,在比较多种提供阻尼力的方法后,提出了用电磁力作为隔振平台的阻尼力,并开发研制了差动式电磁阻尼器系统。该系统可以有效降低隔振平台的谐振峰值,从而达到了提高隔振平台低频性能的目的。本文详细阐述了电磁阻尼系统的工作原理,建立了电磁阻尼系统三自由度速度反馈系统的数学模型,并对系统结构和传感器阻尼器的布置进行了分析和设计。在分析和比较现有阻尼技术的基础上,选择响应快、作用力大的电磁作动器作为阻尼系统的执行机构。针对电磁力与电流之间的非线性问题,采用差动方式布置电磁铁,有效解决系统非线性问题,并研制了可以满足系统要求的差动式电磁阻尼器。基于电磁阻尼器特性,设计了差动式功率放大器,其中差动式功率放大器两路输出线性区为[0.7A, 1.8A],线性度分别达到0.936%和1.055%。最后采用ADAMS对电磁阻尼隔振系统进行了振动仿真分析,仿真结果表明,合理设置阻尼比,能够有效抑制谐振峰值,大幅度提高低频隔振效果,并且对隔振平台谐振频率和高频性能影响很小。
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