激光束由于其本身固有的优良特性,在高精密测量与加工领域中是十分重要的测量手段。但由于各种原因,测量光束本身存在不稳定的漂移,严重影响了激光测量的精度。影响激光束漂移的因素主要包括激光器及其固定架的热变形,测量环境中的空气扰动以及光路系统的机械稳定性。对漂移形式可以等效的分为角漂与平漂,通过凸透镜可以实现平漂与角漂的分离检测。在此基础上,本文提出了基于PZT(压电陶瓷)的主动抑制测量光束角漂的方法,基于Labview与MATLAB分析了执行器的动态特性,得到了其传递函数,最后搭建实验平台,实现了对测量光束角漂的抑制。首先,针对于实验中测得的数据存在大量高频噪声问题,进行了频谱分析,发现高频噪声集中在10HZ以上。基于此,本文进行了数字滤波器的设计,应用椭圆滤波器和滑动均值滤波器后,实验中测得的数据的噪声得到了大幅下降。然后,基于PZT控制反射镜的俯仰角以及摆偏角,运用齐次变换法,建立了PZT伸缩量与反射光线的方向向量之间的数学模型。设计并加工出PZT调整反射镜的执行机构装置,并对该执行机构进行了标定实验。接着,将执行机构系统简化为PZT系统与调整架系统的串联。分别分析了PZT系统与调整架系统的动力学特性,得出他们都是二阶系统,因此执行机构为一个四阶系统。基于MATLAB,对执行机构的阶跃响应曲线进行了分析与建模,得到了执行机构系的四阶传递函数。最后,基于labview,编写了增量式PID算法和继电反馈的PID参数整定程序。为了验证本文提出的测量光束角漂量抑制方法的可行性,搭建导轨四自由度测量实验平台,实验结果表明本文提出的方法很好的抑制了测量光束的角漂。反馈控制后QPD的峰峰值都有所下降,总的来看反馈控制之后QPD1的漂移量在X,Y方向分别降低了96%,88%;QPD2在X,Y方向分别降低了76%,83%;QPD3在X,Y方向分别降,低了55%,78%。