压电喷墨（PIJ）打印技术是一种低成本的直接沉积技术,以其打印寿命高、兼容性强、对墨滴的控制力强、墨滴形状更加规则、可实现高精度打印等优势在喷墨打印市场脱颖而出。目前在材料喷涂、电子工业、生物制药、光学、3D打印、微器件等方面都有应用。但中国还没有自主知识产权的PIJ打印技术,面对PIJ打印技术的广泛应用前景,亟需自主知识产权的PIJ打印技术。本文设计并制造了一种压电喷墨微致动器,主要研究内容及方法包括:（1）根据文献资料及实践经验,初步设计压电微致动器由下到上为Si O2、Pt、PZT、Cu、Polyimide的多层压电复合结构;并采用光学曝光技术、化学湿法腐蚀工艺、Bosh干法刻蚀工艺、溶胶凝胶法、磁控溅射法、溶脱剥离法、干法热氧化工艺完成每一层结构的制备与图形化转移。（2）建立了压电微致动器的简化数值模型,运用解析法分析了压电微致动器结构参数对振动幅度的影响及“弹簧结构”的存在对压电微致动器振动幅度提高的有效性;采用有限元仿真软件（COMSOL）对压电微致动器驱动信号进行优化分析,确定单极性梯形波作为压电微致动器的驱动信号并优化了单极性梯形波的各项参数,分析了压电微致动器结构参数对振动幅度的影响及“弹簧结构”的存在对压电微致动器振动幅度提高的有效性,与解析法的结果基本一致;根据理论分析的结果,初步确定压电微致动器宽度为230μm,弹性层厚度为0.25μm,“弹簧结构”宽度为40μm,下电极厚度为0.15μm,上电极厚度为0.5μm,保护层厚度为1μm。（3）对压电微致动器的MEMS工艺进行框架设计,并细化压电微致动器各层结构的具体MEMS工艺流程及参数,以形成完整制备压电微致动器的工艺流程;摸索了保温时长与Si O2厚度之间的关系,运用牺牲层工艺解决了残胶问题,运用退火工艺解决了上电极脱落的问题,解决了Bosch干法刻蚀过程中出现的过刻蚀、“负形貌”、“长草”等现象。（4）对已经制备成功的压电微致动器进行振动幅度试验,验证了压电微致动器结构参数对压电微致动器振动幅度的影响及“弹簧结构”的存在对振动幅度提高的有效性,与理论分析的结果相吻合,并针对实验中遇到的问题提出了相应的解决办法,反馈优化压电微致动器的结构,工艺等;对已经制备成功的PIJ打印头进行喷墨试验,根据试验过程中出现的问题,反馈优化压电微致动器,腔室的结构,工艺等。