MOVCVD( Metal Organic Chemical Vapor Deposition)是一种高质量的半导体材料生长技术,主要应用于半导体材料、纳米材料等材料生长领域。本项目来源为陕西省自然基金资助项目。针对西安电子科技大学MOCVD系统,根据MOCVD系统工艺要求,进行了基于可编程逻辑控制器的MOCVD设计与研究。针对第一代MOCVD系统的不足和缺陷提出了全新的设计理念。MOCVD控制系统选用西门子可编程逻辑控制器作为核心控制器,设计了上位机监控系统。反应室的温度控制设计了上位机加温控器控制和底层PLC临时托管两种方式。提出了全新的软件设计思想。主要设计了步序与循环控制、报警及故障处理、模拟量多路分时选择输入、模拟量平滑处理及输出、中断处理等子程序。并对软件进行加密保护。为解决MOCVD设备温度控制非线性、时变性以及大滞后等问题,提出改进的基于误差反向传播算法(BP)的神经网络控制方法。该方案较好地解决了系统中存在的非线性、大滞后、物理模型不精确等问题,对实际温度控制具有较好的指导意义。与第一代MOCVD控制系统相比,本文设计的MOCVD控制系统的性能更加稳定,完善。它为MOCVD控制系统的设计提供了新的思路和方法,为进一步研发MOCVD控制系统奠定了基础。