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CrAlN薄膜因为具有高硬度、良好的耐磨性能以及优异的高温抗氧化等性能,得到了广泛的关注,并已经成功应用在了刀具、模具、航空等许多领域。但是随着科技的发展,对膜层的性能要求也变得越来越高。本论文主要研究Y、Si元素的加入对CrAlN薄膜性能的影响。采用磁控溅射技术,在高速钢基材上沉积不同Y含量的CrAlYN薄膜,不同Si含量的CrAlSiN薄膜以及CrAlSiYN薄膜,并进行了大气和真空高温热处理实验。通过SEM、EDS、XRD以及纳米压痕仪等设备对薄膜元素组成、纳米硬度、弹性模量以及热处理前后的表