二元共掺BST薄膜介电性能及掺杂机理研究

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【摘要】

：

本论文主要研究二元共掺对Sol-gel法制备的钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3,BST)薄膜介电性能的影响。围绕提高BST薄膜介电性能而展开,结合目前优化BST介电性能的研究趋势,对一元掺杂与二元共掺进行研究,并对BST进行了交替掺杂的研究尝试。利用XRD、AFM、XPS等现代材料分析方法对薄膜微结构、表面形貌和成分进行表征,并就相关成分、工艺、结构及性能之间的联系进行探讨。首先,研究掺杂前

【作者】

：

傅向军

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2010年04期

【关键词】

：

钛酸锶钡薄膜二元共掺交替掺杂

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