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针对风洞试验中用于飞行器上的传统压力传感器灵敏度低、刚性强、体积大和难以实现分布式压力测量等问题,迫切需要一种具有高度柔性的新型压力传感器,能够适用于风洞试验模型上的不规则表面,并且具备模型表面分布式压力测量的能力,同时要求在低压范围内仍能探测到模型表面压力。近年来,随着电子科技的不断发展,柔性压力传感器受到了越来越多的关注。相对于刚性较强的传统压力传感器而言,柔性压力传感器可进行弯曲、折叠等,并且重量轻、体积小,能够适应于复杂的环境以及不规则的表面形态,可以更有效的捕捉外界信号,减少测量时产生的误差。目前,研究人员通过材料、传感机理以及结构设计等方面开发了大量适应于不同应用场景的柔性压力传感器,提升了柔性传感器的性能并开发了多功能的柔性压力传感器,但是仍然很少涉及分布式压力测量这一部分。本文对电容式柔性压力传感器进行了结构优化,设计了可转移的图案化电极,利用微机电系统(MEMS)的加工工艺完成了分布式柔性压力传感器的制备,具备较强的柔韧性,能够适用于不规则的模型表面。利用微结构和压电材料来提高传感器的压力灵敏度,通过实验对所制备的分布式柔性压力传感器进行了特性分析,实现了接近式感应和分布式压力测量。主要工作内容和结论有:①比较了多种导电材料,利用聚3,4-乙烯二氧噻吩:聚苯乙烯磺酸盐(PEDOT:PSS)和多壁碳纳米管(MCNTs)所制备的柔性电极具有可印刷、超灵敏、抗氧化和高导电率等特点,结合真空抽滤工艺完成了电极的图案化,并且利用Ecoflex00-30半固化工艺实现了电极的转移过程。②分析了影响电容式柔性压力传感器对压力灵敏度的主要因素,选强极性压电材料聚偏氟乙烯(PVDF)来提高传感器的灵敏度。③探究了多种旋涂速度以及曝光剂量对介电层的模具厚度和线宽的影响。确定50um厚度以及50um线宽对应最高旋涂速度和曝光剂量分别为:1940rpm(1940转/分)和235mJ/cm2。利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)倒膜工艺制备了圆柱形高50um直径50um的微阵列介电层。④利用拉伸试验机和LCR表对制备的8×8轴的分布式柔性传感器进行实验测试,实验表明该分布式柔性传感器在0-20KPa低压范围内具有高灵敏度(7.6 MPa-1)、低响应时间(<70ms),能够用于实时压位测量系统,并且具有良好的稳定性与耐久度,在500次循环测试后仍能正常工作,而且具分布式压力测量性能,能够探测到表面压力分布,同时具备接近式感应能力,扩大了其应用范围。