研究了用不同比例的Co部分替代FINEMET型合金中Fe形成的(Fe_1-xCo_x)_73.5Cu₁Nb₃Si_13.5B₉ （x=0, 0.25, 0.5, 0.75）系列合金在不同温度纳米晶化后的结构及软磁性能。重点分析了Co含量的变化及退火温度对合金高温软磁性能的影响。利用XRD对合金微观结构进行分析。分析表明，Co含量的变化及退火温度的选择对合金的微观结构有显著影响，合金在等温热处理时发生部分晶化，形成由α-FeCo（Si）、（FeCo）3Si晶化相和剩余非晶相组成的双相结构。利用Origin软件模拟XRD衍射峰计算晶化相体积分数、晶粒尺寸和剩余非晶层厚度。结果表明，Co含量的变化对合金的晶化体积分数、晶格常数以及剩余非晶层的厚度都有很大影响。随退火温度的升高，晶化相体积分数增大，而晶粒间的非晶层厚度不断减小。利用测量交流初始磁导率iμ随温度的变化（即μ_i–T曲线），研究了合金的高温磁性。采用循环加热、冷却过程中测定交流初始磁导率的方法研究了室温至780℃范围内的高温磁性与结构的关系。结果表明，Co部分替代合金中的Fe使饱和磁感应强度和室温初始磁导率略有下降，但显著提高了FINEMET型合金的非晶相居里点，使合金iμ保持到较高温度没有明显下降，显著改善了合金的高温磁性。随Co含量的增加，(Fe_1-xCo_x)_73.5Cu₁Nb₃Si_13.5B₉ （x=0, 0.25, 0.5, 0.75）合金的非晶相居里温度（）升高而一次晶化温度（Tx1）下降。当x≤0.5时，随Co含量的增加合金的高温软磁性能改善。然而对于x≥0.5的富Co合金，从x= 0.5到x=0.75合金的没有变化，ACTACTiμ显著下降。在晶化过程中，Co原子选择性的替代晶化相中不同位置的Fe原子，Co含量与退火温度的变化对Co在晶化相和剩余非晶相中的分配有重要影响。利用纳米晶合金的交换耦合作用和有效各向异性模型分析了高温磁性改善的机理。