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本文理论研究了范德华力对纳米梁结构表面静态粘附及静电驱动纳米梁吸合现象的影响，为纳米器件的设计提供参考。首先，通过一定工艺手段去除其他表面力对粘附的影响，考察范德华力对表面粘附的影响。以实际自相似分形分布粗糙表面为模型，针对微表面接触产生弹性和塑性两种不同变形情况，推导了范德华粘附能计算公式，并进一步分析表面形貌参数对范德华能的影响。其次，以广泛采用的静电驱动纳米梁结构为对象，研究了范德华力对其吸合现象的影响。扩展了现有的一维集总法和能量法模型，推导了考虑范德华力