吸合现象相关论文
针对传统CMUT的上电极加工在振动薄膜的上表面,振动薄膜的厚度会增加上、下极板之间的有效距离,影响CMUT的发射性能和接收性能的问......
期刊
本文理论研究了范德华力对纳米梁结构表面静态粘附及静电驱动纳米梁吸合现象的影响,为纳米器件的设计提供参考。首先,通过一定工艺手......
本文先讨论了基于静电驱动的平行板式微执行器在忽略边缘效应下的静态吸合现象,之后在前面研究的基础上,进一步分析了该微执行器在......
从多层弯曲磁芯微执行器的模型及原理出发,应用静磁执行器的吸合方程,分别用磁动势控制模型和磁通控制模型对多层弯曲磁芯微执行器的......