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随着能源的日渐短缺和全球环境的恶化等，我们必须寻找新的清洁可再生资源。太阳电池的研究和开发越来越受到人们的重视，寻找高的光电转换效率的材料是我们要解决的关键问题。光入射到太阳能电池表面时，有一部分光产生反射现象，影响其光电转换效率。现在在太阳能电池表面形成一层减反射膜是提高其光电转换效率的有效方法。SnO_2薄膜材料是一种金属氧化物材料，它具有较宽的带隙、高透射率、低电阻、化学和热稳定性能好，所以选择用来作为太阳能电池的减反射膜材料。本文中薄膜制备方法是等离子体增强化学气相沉积（PECVD）