光刻机作为制造大规模集成电路的核心装备,朝着更高图形转移分辨率与更大硅片尺寸、更高产率与良率方向发展,这对工件台提出高速、高精度、大行程的要求,相应地对其加速度与定位精度提出了极致要求。为驱动光刻机工件台在电机驱动器的输出电流作用下实现超精密运动控制,要求电机驱动器必须具备更高频带宽电流的快速响应能力,以及极低电流噪声等信噪比性能。前者要求更高的驱动器供电电压,后者则要求抑制各种功率干扰与电脉冲噪声。本文针对高压加剧的输出电流纹波、高频带来的脉冲干扰信号与毛刺噪声、以及高压高频共同作用下的开关热损耗,对传统PWM驱动器进行改进并开展研究工作。以提高驱动器频率带宽、减少输出电流噪声、降低功耗等为目的,通过理论推导与pspice仿真分析完成了对栅极驱动电路、功率变换电路与毛刺吸收电路的设计,提高了驱动器的动态响应速度,改善了热功耗、输出电流纹波与毛刺噪声。针对高频高压共同作用产生的热功耗过大与安全性问题,设计了栅极驱动电路,提高了驱动器动态响应与安全性能。在分析高频开关大功率输出时寄生参数对漏源开关动态过程、功耗、安全性等的影响机理基础上,通过优化电路参数有效避免了MOSFET在高频工作环境下存在的“米勒平台”与“误导通”问题,降低了寄生电容在漏源开关过程中充放电产生的热功耗,改善了高频开关过程中栅极寄生电感产生的电流突变毛刺噪声。通过分析MOSFET安全工作区与计算漏源电流变化率di_ds/dt,确保功率器件工作在安全范围内。利用pspice仿真验证了该电路的可行性,将漏源开关时间降低至原来的1/7,且输出波形平稳、毛刺噪声小。针对高压加剧的纹波噪声与高频带来的脉冲干扰噪声问题,设计了功率变换电路与毛刺吸收电路,有效提高了驱动器输出电流精度。以驱动器设计所需的高开关频率、最大输出电流、最大过冲电压为约束,针对高压恶化的纹波噪声问题,设计了新型LCR滤波电路改善输出电流纹波噪声,通过优化电路参数将纹波噪声降低至原来的1/4。针对高频开关对主电路分布电感引发的输出电流噪声di_load/dt过大的问题,采用了工程上比较成熟的RC与RCD缓冲电路,本文优化了电路参数,将负载电流噪声降低至原来的1/20。基于上述分析与设计,构建了硬件实验平台,实验结果验证了驱动电路设计的安全性与可行性。